BASIXX ST20+（?200毫米）臺式旋涂機，帶電動介質臂

BASIXX ST20（?200毫米）臺式旋涂機

BASIXX ST20+  實驗室臺式勻膠機

是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動系統，旨在為科學和研究領域的用戶提供高效，安全和清潔的實驗室系統。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理，例如編寫，編輯，保存和加載。 服務區提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

特點：

÷ 直驅無刷微調電機

÷ 全軸電機驅動且可編程

÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 旋轉器蓋傳感器控制

÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序

÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼

÷ 外殼上的電源開關ON / OFF

÷ 配備標準的水坑噴嘴，通過水坑噴嘴注入溶劑

÷ 可拆卸處理碗和飛濺環，便于清潔

÷ 可處理圓形晶片，尺寸為?200mm（?8英寸）

÷ 可處理方形基板，尺寸為150 x 150毫米（6 x 6英寸）

÷ 標配最多安裝3個介質管線/噴嘴（可選：最多5個介質管線/噴嘴）

÷ 可視真空控制儀

÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統運行來控制

÷ 含0.5 Itr的廢液瓶

÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統的電動介質臂

÷ 可作為臺式安裝，也可做獨立裝置使用

÷ 簡單且經濟高效

÷ 專為研究所，實驗室和基礎研發而設計

應用于：旋涂，顯影，清潔和干燥

產品參數：

可處理襯底尺寸：直徑為?200mm（?8英寸）圓片，或為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；

旋轉速度：10,000rpm *，（以rpm步長為單位）；

加速度：4.000 rpm / sec *；

處理時間：1至999,9sec，以0.1秒為步；

處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質

腔體：白色（PP）材質

固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；

電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm

排氣-過程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時

氮氣（可選）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm

CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。

選配項：

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

泵